Z軸だけはX,Y軸よりも0g時のオフセットばらつきが大きいです。
例えばADXL355では0gのオフセットはX,Y,Z軸どれも±25mgが代表値ですが、X軸, Y軸はほとんどこの範囲に入ります。Z軸はこの範囲を超えるものもあります。X軸,Y軸はシリコンウエハの水平方向でZ軸は半導体の厚み方向となるためMEMSセンサの構造が異なります。そのためZ軸だけはどうしても特性が悪くなります。
データシート上ではX,Y,Z軸は共通でmin/maxは±75mgとなっておりますので、±75mgの範疇は不良品ではないということになります。おそらく特性が悪いZ軸を基準にMin/Maxを規定していると思われます。実際X,Y軸はもっと特性を絞ってもいいのですが、Z軸のスペックを別にするよりも、X,Y,Zを全て同じ特性で作れるというアピールでそのように記載していると思われます。
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